机译:通过等离子体增强原子层沉积自限低温生长晶体AlN薄膜
机译:等离子增强原子层沉积法低温自限生长III族氮化物薄膜
机译:液态二甲基(N-乙氧基-2,2-二甲基丙酰胺基)铟的等离子体增强原子层沉积在低温下生长氧化铟薄膜,以用于高迁移率薄膜晶体管
机译:等离子体增强原子层沉积和扩散阻挡特性在钽薄膜上的生长
机译:用于多功能薄膜电子设备的等离子增强原子层沉积氧化锌。
机译:等离子体增强原子层沉积在低温下沉积的HfO2薄膜的结构光学和电学性质
机译:通过等离子增强原子层沉积自限低温生长晶体AlN薄膜
机译:二元和三元氧化物薄膜原子层外延低温沉积过程的研究